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　　近日，青岛芯笙公司在气体质量流量控制器方面取得重大突破，攻克了长期以来阻碍国产半导体级MFC发展的关键技术壁垒，成功开发出基于高速压电比例阀的半导体级 MFC 产品。这一突破对于我国半导体产业发展至关重要，目前国内主流的MFC产品采用传统的电磁比例阀技术，性能参数差，产品力不足，无法满足半导体行业高精度、高可靠性、快速响应的需求。而日本Horiba、美国MKS、荷兰Bronkhorst等业内龙头企业已然推出基于压电比例阀的半导体级MFC产品。相较而言，压电比例阀响应快，控制精度高，能够实现气体流量的快速调整，满足半导体制造过程对快速响应的要求。同时，压电比例阀功耗和热噪声低，减少了能源消耗和对环境的影响。